小流量氣體流量計

簡要描述：

D07-15小流量氣體流量計用途: 質量流量控制器（MFC）用于對氣體的質量流量進行精密地測量和控制。廣泛用于電子工藝設備、真空鍍膜、石油化工、冶金、制藥、光纖熔煉、分析測量儀器、制氣配氣等行業。

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D07-15氣體質量流量控制器 產品簡介：

★高穩流型
★小體積，低波動
★橡膠密封、模擬電路的MFC
★采用P20金手指插頭

D07-15氣體質量流量控制器用途:

質量流量控制器（MFC）用于對氣體的質量流量進行精密地測量和控制。廣泛用于電子工藝設備、真空鍍膜、石油化工、冶金、制藥、光纖熔煉、分析測量儀器、制氣配氣等行業。

D07-15氣體質量流量控制器技術參數：

產品型號	D07-15
產品類型	普通型
流量量程	5sccm,10sccm,20sccm,30sccm,50sccm,100sccm,200sccm,500sccm,1slm,2slm,3slm,5slm
產品精度	±1％F.S.
重復精度	±0.2% FS
線性	±0.5% F.S.
響應時間	≤4sec
工作溫度范圍	(5~45)°C
耐壓	3MPa
密封材料	氟橡膠Viton,氯丁橡膠(耐氨橡膠) Neoprene,聚四氟乙烯 Teflon
輸入輸出信號	(0~5)VDC
電源	±15V
閥類型	常閉
溫度系數	- 無 -
零點飄移指標	- 無 -
電氣連接	P20 Card Edge
工作壓差范圍	(0.1～0.3) MPa
漏率	1×10-8atm•cc / sec He（1×10-9 Pa•m3 / sec He）
標準接頭形式	雙卡套Φ6,雙卡套Φ3,VCR1/4”,雙卡套1/4”
表面化學成分	- 無 -
表面粗糙度	- 無 -
抗電磁干擾	- 無 -
重量	0.85Kg